 應(yīng)用領(lǐng)域：
CVD氣氛管式爐廣泛應(yīng)用于高中低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、納米氧化鋅的可控生長、晶體硅基板鍍膜、金屬或非金屬在真空或氣氛條件下的焊接、燒結(jié)等工藝。

 主要特點(diǎn)：
* 高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛，可拆卸式的三面密封法蘭，具有優(yōu)良的潔凈度和真空度。
* 全部采用超輕質(zhì)的陶瓷纖維制品耐火保溫，整機(jī)結(jié)構(gòu)小、能耗低、升溫快。
* 加熱元件采用進(jìn)口Kanthal電阻絲或U型硅鉬（碳）棒，壽命長。
* 溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制，具有良好的穩(wěn)定性和一致性。

 技術(shù)參數(shù)：
設(shè)備型號(hào)： GCVD(D)-06/30/1 GCVD(Z)-07/40/1 GCVD(G)-09/50/1 GCVD(G)-06/50/2
*高溫度： 1050℃ 1300℃ 1650℃ 1650℃
使用溫度： RT～1000℃ RT～1250℃ RT～1600℃ RT～1600℃
控制精度： ±1℃ ±1℃ ±1.5℃ ±1.5℃
溫區(qū)個(gè)數(shù)： 1個(gè) 1個(gè) 1個(gè) 2個(gè)
爐管材質(zhì)： 高純石英 99剛玉 99剛玉 99剛玉
發(fā)熱元件： Kanthal電阻絲 進(jìn)口電阻絲/硅碳棒 硅鉬棒 電阻絲、硅鉬棒
加熱區(qū)長度： 300mm 400mm 500mm 500mm
爐管尺寸： Ф60×1000 Ф70×1100 Ф90×1300 Ф60×1450
加熱功率： 3Kw 4Kw 10Kw 8Kw

注：以上真空氣氛管式爐具備冷態(tài)極限真空6.67×10-3Pa，并可根據(jù)實(shí)際要求非標(biāo)定制。